Guía del usuario para la elipsometría

Este texto sobre óptica para estudiantes de posgrado explica cómo determinar las propiedades y parámetros de materiales para sustratos inaccesibles y películas desconocidas, así como cómo medir películas extremadamente delgadas. Sus 14 estudios de caso ilustran conceptos y refuerzan las aplicaciones de la elipsometría, particularmente en relación con la industria de los semiconductores y los estudios que involucran la corrosión y el crecimiento de óxidos.
A User's Guide to Ellipsometry permitirá a los lectores ir más allá de las aplicaciones limitadas y preconfiguradas de los elipsómetros. Además de sus discusiones exhaustivas sobre la medición del espesor de la película y las constantes ópticas en la película, también considera las trayectorias de los parámetros elipsométricos Del y Psi y cómo los cambios en los materiales afectan los parámetros. Este volumen también aborda el uso de polisilicio, un material comúnmente empleado en la industria de la microelectrónica, y los efectos de la rugosidad del sustrato. Tres apéndices proporcionan referencias útiles.

Autor: Harland G. Tompkins
Editorial: Dover Publications
Publicado: 07/07/2006
Páginas: 260
Tipo de encuadernación: Tapa blanda
Peso: 0.66lbs
Tamaño: 8.50h x 5.64w x 0.56d
ISBN13: 9780486450285
ISBN10: 0486450287
Categorías BISAC:
- Ciencia | Nanociencia
- Tecnología e Ingeniería | Eléctrica
- Ciencia | Física | Óptica y Luz

Este título no es retornable