Principios Fundamentales de la Óptica

La fabricación de un circuito integrado requiere una variedad de procesos físicos y químicos que se realizan en un sustrato semiconductor. En general, estos procesos se dividen en tres categorías: deposición de película, modelado y dopaje de semiconductores. Se utilizan películas tanto conductoras como aislantes para conectar y aislar transistores y sus componentes.

Al crear estructuras de estos diversos componentes, se pueden construir y conectar millones de transistores para formar la compleja circuitería de los dispositivos microelectrónicos modernos. Fundamental para todos estos procesos es la litografía, es decir, la formación de imágenes de relieve tridimensionales en el sustrato para la posterior transferencia del patrón al sustrato.

Este libro presenta un tratamiento teórico y práctico completo sobre el tema de la litografía tanto para estudiantes como para investigadores. Consta de diez capítulos detallados más tres apéndices con problemas al final de cada capítulo.

Información adicional:
Visitar http: //www.lithoguru.com/textbook/index.html mejora la comprensión del lector, ya que el sitio web proporciona información sobre cómo descargar un manual de laboratorio gratuito, Optical Lithography Modelling with MATLAB(R), para acompañar el libro de texto. También puede ponerse en contacto con el autor y encontrar ayuda para instructores.

Autor: Chris Mack
Editorial: Wiley
Publicado: 01/01/2008
Páginas: 544
Tipo de encuadernación: Tapa blanda
Peso: 2.19lbs
Tamaño: 9.45h x 6.76w x 1.21d
ISBN13: 9780470727300
ISBN10: 0470727306
Categorías BISAC:
- Tecnología e Ingeniería | Electrónica | Circuitos | Integrados
- Tecnología e Ingeniería | Electrónica | Semiconductores
- Tecnología e Ingeniería | Fabricación

Sobre el autor

Chris A. Mack, vicepresidente de Tecnología de Litografía, Lithoguru.com.