Descripción
Un trabajo pionero en sistemas microelectromecánicos (MEMS) en 1954 por Smith [142] describió los efectos piezorresistivos sensibles a la tensión observados en silicio y germanio. Posteriormente, una serie de investigadores en la década de 1960 publicaron sus hallazgos sobre los primeros sensores de presión de diafragma de silicio y galgas extensiométricas [117], [151]. El interés en la tecnología de sensores de silicio creció drásticamente. Waggener demostró el grabado profundo de silicio en 1967, [155] y el primer microdispositivo mecánicamente habilitado basado en tecnología de micromecanizado a granel, un sensor de micro presión, fue desarrollado en 1970 por HP. A esto le siguieron las boquillas micromecánicas para impresoras de inyección de tinta en 1979. El primer micromotor basado en el micromecanizado de superficie fue desarrollado en los Laboratorios Nacionales de Sandia, por Tanner [149], [116]. A esto le siguió una amplia gama de sensores y actuadores micromecánicos, en una variedad de aplicaciones en ingeniería, medicina y otras ciencias fundamentales.
Autor: Nisha Jose K.
Editorial: Autoempleado
Publicado: 30/03/2023
Páginas: 168
Tipo de encuadernación: Tapa blanda
Peso: 0.51 libras
Tamaño: 9.00 alto x 6.00 ancho x 0.36 profundidad
ISBN13: 9798889951278
ISBN10: 8889951273
Categorías BISAC:
- Informática | Desarrollo e Ingeniería de Software | Análisis y Diseño de Sistemas
- Tecnología e Ingeniería | General